Pastivated ti yiyi injar cort: crafting aworan ti "awọn apata aabo aabo" ati iwọntunwọnsi iṣẹ

Pataki jẹ ilana to mojuto ni iṣelọpọ ti yiyiEjò iní. O ṣe gẹgẹ bi "asà ipele ti molecular" lori dada, imudara resistance ipalu nigba ti o ba ni iwọntunwọnsi ikolu iru awọn ohun-ini to ṣe pataki ati iwa-ipa. Nkan yii ṣe itọsi sinu imọ-jinlẹ lẹhin awọn ẹrọ itankale, awọn iṣowo-iṣowo iṣẹ ṣiṣe, awọn iṣe iṣe imọ-ẹrọ. LiloIrin ti a ka's ṣẹgun bi apẹẹrẹ, a yoo ṣawari iye alailẹgbẹ rẹ ni iṣelọpọ itanna-ipari giga.

1.

1.1 Bawo ni awọn fọọmu Layer Layer
Nipasẹ kemikali tabi awọn itọju elekitiro, awọ-akiri alumọni Típí Awọn ọna ti o nipọn lori oke ti awọnEjò iní. Ti o jẹ pataki, cuo, ati awọn eka onirganic, Layer yii pese:

• Awọn idena ti ara:Alagbepọ atẹgun ti atẹgun dinku si 1 × 10 cm/ / s (isalẹ lati 5 × 102 cm / s fun biko corf).
• Ifiweranṣẹ Elechocemical:Rusosion iwuwo lọwọlọwọ lati 10μA / cm² si 0.1² si 0.1. / cm².
• Everteness kemikali:Agbara ọfẹ ọfẹ ti dinku lati 72mj / m² si 35mj / m², n tẹnumọ ihuwasi iwadii.

1.2 Awọn anfani bọtini marun ti Pass

2.

2.1 ṣe iṣiro awọn ewu

• Idinku diẹ ninu iṣedede:Layeri pasi mu ijinle awọ pọ si (ni 10ghz) lati 0.76μm si 0.722μm si 0.722μm, ṣugbọn nipa fifi sisanra labẹ 30 dris le ni opin si labẹ 5%.
• Awọn italaya taja:Agbara dada kekere mu awọn igun walerimu ti o jade lati 15 ° si 25 °. Lilo awọn ohun elo olodi ti nṣiṣe lọwọ (Iru RA) le ṣe aiṣedeede.
• Awọn ọran Adhesion:O le ju 10-15% lọ, eyiti o le ṣe amọna nipasẹ apapọ idapo ati awọn ilana asọtẹlẹ.

2.2Irin ti a kaỌna iwọntunwọnsi

Imọ-ẹrọ Igbimọ ajọye:

• Ipilẹ Layer:Idagba itanna ti 5nm Cu₂ pẹlu (111) iṣalaye ti o fẹ.
• Layejọ agbedemeji:A 2-3NM Benzotria (BTA) fiimu ti ara ẹni.
• Awọn ita gbangba:Awọn oluranlowo ikolenu ti a fi silane (awọn aptes) lati jẹki alefa rehesion.

Awọn abajade iṣẹ ṣiṣe:

3. Irin ti a kaImọ-ẹrọ Itanna: Rọpa Awọn Ilana Idaabobo

3.1 Eto Idaabobo-ipele

1. Iṣakoso atẹgun ti o nipọn:Pulse anodization aṣeyọri ni sisanra laarin ± 2NM.
2. Awọn fẹlẹfẹlẹ arabara-in-inganic-inBTA ati silan ṣiṣẹ papọ lati dinku awọn oṣuwọn carsosion si 0.003mm / odun.
3. Itọju Itọju okun:Pipọ Pilasima Lafiara (AR / O₂ Ọpọ gaasi) Mu pada Awọn igun Wething Awọn igun si 18 °.
4. Abojuto Ere-ije:Ellipsometry ṣe idaniloju jiji ipariye Layer internavation laarin ± 1.5NM.

3.2 Eto Iloju Ayika

• Ọriniinitutu giga ati ooru:Lẹhin awọn wakati 1,000 ni 85 ° C / 85% RH, awọn ayipada resistance dada nipasẹ kere si 3%.
• Ile-iṣẹ igbonaLẹhin awọn kẹkẹ 200 ti -55 ° C si + 125 ° C, ko si awọn dojuijako yoo han ninu Layer Parlivation (Timo nipasẹ Sem).
• Ibaralẹ kẹfa:Resistance si 10% HCL CCL ba pọ si lati iṣẹju marun 5 si iṣẹju 30.

3.3 ibaramu kọja awọn ohun elo

• 5G Yintiterle-Wald Ennas:Ipadanu adari 28Gle dinku si 0.17dB / cm (Ti a ṣe afiwe si Awọn oludije '0.21DB / cm).
• Awọn itanna adaṣe:Pasi ISO 16750-4 Awọn idanwo fun sokiri lati mu, pẹlu awọn kẹkẹ gigun ti o gbooro si 100.
• IC/Agbara alemo pẹlu Abf re tun de 1.8N / cm (ile-iṣẹ ile-iṣẹ: 1.2n / cm).

4. Awọn ọjọ iwaju ti Imọ-ẹrọ Itanna

4.1 Amomic Layer Ifunni (Ald)
Dagbasoke awọn fiimu ti nlangaminate da lori Altoi₃ / Tio₂:

• Sisanra:<5NM, pẹlu ilosoke idagbasoke ≤1%.
• CAF (fifi sori ẹrọ anodic ṣe afihan) resistance:5X ilọsiwaju.

4.2 Awọn Laini Itan Iwosan Ara-ẹni
Ṣepọpọ Scrappuler MicrosipAPAPAPAPATINITS (awọn ifẹkufẹ Benzimisidazole):

• Imudara ti ara ẹni:Ju 90% laarin awọn wakati 24 lẹhin awọn iwe.
• Life Life:Gbooro si ọdun 20 (akawe si boṣewa ọdun 10-15).

Ipari:
Itọju Pataki ṣe aṣeyọri iwọntunwọnsi ti a tunṣe laarin aabo ati iṣẹ ṣiṣe fun yiyiEjò iní. Nipasẹ vationdàs,Irin ti a kaMinilives Passideasides isalẹ, ti o yipada si "ihamọra alaihan" ti o ṣe igbelaruge ọja ọja. Bi ile-iṣẹ itanna n gbe si iwuwo ati igbẹkẹle, kongẹ ati iṣakoso iwe adehun ti di igun igun igun ile.